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圆柱扭转阴极(ji)
产物概(gai)况(kuang)

规格:

靶材外(wai)径:70mm, 100mm, 152mm

装置体例:背包外装式,拔出侧装

磁场发散(san)角:规范,较小

磁场强(qiang)(qiang)度:通俗(su),强(qiang)(qiang)

特色:

端头局部(bu):

            端头外部绝(jue)缘(yuan)处(chu)置,外露件不导电;

            端头绝缘接纳入口PEEK材质,保障端头强度(du)与绝缘机能;

            端头接(jie)纳大电(dian)流电(dian)刷,保障(zhang)阴极大电(dian)流不变(bian)任务;

            接(jie)线电(dian)缆间接(jie)与电(dian)刷毗连,进步导电(dian)结果;

            端头密封轴(zhou)喷(pen)涂(tu)超(chao)高硬度涂(tu)层,超(chao)长密封寿(shou)命;

            入口定制油封,大(da)大(da)耽误油封寿命(ming);

磁棒局部:

            磁钢本(ben)身多重(zhong)涂层防护;

            磁钢与水断绝,本(ben)源上根绝生(sheng)效危险;

            高(gao)靶材操纵率(lv):70%-80%

            多(duo)重检测(ce),磁(ci)场(chang)平均性优于+/-2%

            磁场平(ping)均性可调理,400-1500Gauss

            磁(ci)场(chang)强度可(ke)按照请求定制(zhi):300-1000Gs

            磁(ci)场发散角(jiao)小:更(geng)多靶(ba)材堆积到基片上。

功效:

用于各种金(jin)属和非金(jin)属靶(ba)材的溅射堆积,出产(chan)装潢(huang)、光学(xue)及各种功(gong)效膜层

操纵规模:

真空镀(du)膜范畴出产装(zhuang)潢、光学和(he)各(ge)种功效(xiao)膜


图片、细节图:



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扭转阴极度头.png

地点:浙江省杭州市余杭区粮站路11号智能制作立异创业财产园2号楼2楼
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