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条形阳极(ji)层离子源(yuan)
产物概况

手(shou)艺参数

范例

阳极(ji)层离子源(yuan)

有用长度

总(zong)长(zhang)L-200mm

宽度

165mm

最大放电电压

3000V( Pulsed DC )

最大放(fang)电电流

>10mA/cm

离子能量

150~1500eV

任务(wu)压(ya)强

3×10-2~5×10-1Pa

气体(ti)流量

0-100sccm

冷却水管(guan)

Φ8

任务气体(ti)

Ar,O2, N2

冷(leng)却水(shui)阻抗(kang)

50ΚΩ/M

电源(yuan)功率

6KW

节(jie)制体例(li)

Local/Remote

利用范畴

预洗濯,帮助堆积

装置体例

内/外装置

特色(se):

极靴间接冷(leng)却(que):保(bao)障磁铁(tie)机能不变

磁场优化设想:大大下(xia)降离子轰(hong)击净化

高平均性气路(lu)设想:进(jin)步洗濯(zhuo)平均性

直(zhi)流脉冲(chong)电源驱动:削减电荷(he)累计(ji)打火

核心布局优化设(she)想:便(bian)利清(qing)算(suan)保护(hu)

优良(liang)资料与配件:保(bao)障产(chan)物品德(de)

功效(xiao):

   (1)基(ji)片镀膜前外表预洗濯,进步膜基(ji)连系力

   (2)作为(wei)磁控(kong)溅射进程中的离子帮(bang)助堆(dui)积

    (3)   间接堆积DLC膜层

利(li)用规模(mo):

真空镀膜(mo)前的基片预洗濯和帮助堆(dui)积


图片、细节图:


典范测试(shi)参(can)数(L长800mm







地点:浙江省杭州市余杭区粮站路11号智能制作立异创业财产园2号楼2楼
接洽德律(lv)风(feng):0571-88682681
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