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Gasloop靶电压气体闭环节制器
Gasloop靶电压气体闭环节制器
产物概况(kuang)

靶电压气体闭环节制(zhi)器:

功效:针对SiAlZn靶材反映磁控(kong)溅射(she)进程(cheng),经(jing)由过程(cheng)对靶电(dian)压的闭环节制,不变溅射(she)电(dian)压任务点(dian),堆积(ji)速(su)度晋升2-5倍量级


合用靶材/工艺:


SiO2Al2O3AlNZnO


特色:

1.中(zhong)文界面。顺应国际工(gong)场习气,削减(jian)犯(fan)错率

2.直观显现滞回(hui)曲线,辅佐疾(ji)速(su)挑选(xuan)节制任(ren)务点

3.财(cai)产级(ji)运算(suan)芯片,耐情况温度,抗电磁(ci)搅扰,不变靠得住

4.高性(xing)价(jia)比(bi)。多(duo)种版本(ben)顺应多(duo)种利用(yong)+节(jie)俭本钱


手艺规格

参数

产物型号

   Gasloop

节制旌旗灯号

   两通道靶电压(ya)旌旗(qi)灯(deng)号输入(0-10V/ BNC接口

任(ren)务(wu)形式

   滞(zhi)回形式(shi)、反(fan)应形式(shi)、恒流(liu)形式(shi)三种

气体节制

   每通道(dao)别离(li)可接2 路(lu) MFC气体流量(liang)计 (0-5V摹(mo)拟量输(shu)入)

   每通(tong)道可设定(ding)2通道流量(liang)计流量(liang)比例

软(ruan)(ruan)件界面

   Windows 视窗界面

界(jie)面显现

   能(neng)够(gou)显现靶(ba)电(dian)压-气体流量滞回曲线

   及时显现靶电压设定(ding)值和现实靶电压曲线、

   及时显现气体现实值(zhi)曲(qu)线

   及时显现当日(ri)靶电压汗青曲线

软件装置请求

   Windows 7 10

通信(xin)接口

   Internet收集通信

工控接口

   IO节制关启,DB15 公头

分量

   ~1 kg

尺寸

250×250×70 mm

电源

   110/220V AC50/60Hz 接地三(san)脚插头

功(gong)耗

   ~100 W


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地点:浙江省杭州市余杭区粮站路11号智能制作立异创业财产园2号楼2楼
接洽德律风(feng):0571-88682681
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